Polirne blazinice so ključni dodatki, ki določajo kakovost površine rezin v procesu kemičnega mehanskega poliranja (CMP). V glavnem so sestavljeni iz materialov, kot je poliuretanska pena, ki imajo porozno mikrostrukturo in visoko odpornost proti obrabi. Njegove glavne funkcije vključujejo enakomeren prenos tlaka, shranjevanje polirne tekočine in odstranjevanje reakcijskih ostankov. S prilagajanjem trdote je mogoče optimizirati enakomernost v-kalupa (WID) oziroma enakomernost v-odrezku rezine. Zasnova vzorca utorov neposredno vpliva na učinkovitost porazdelitve polirne tekočine. Radialni utor izboljša hitrost odstranjevanja materiala, medtem ko obročast utor optimizira končno obdelavo površine.
Učinkovitost polirne blazinice je določena s 7 ključnimi indikatorji:
1. Gostota: vpliva na stopnjo deformacije
2. Trdota: Regulirajte učinkovitost brušenja
3. Debelina: določa enakomernost pritiska
4. Vzorec utorov: optimizirajte porazdelitev tekočine
5. Parametri utora: širina/globina vplivata na zmogljivost shranjevanja
6. Specifikacije zunanjega premera: treba jih je prilagoditi velikosti opreme
Sestava in struktura poliuretanske polirne blazinice
Poliuretanske polirne blazinice običajno uporabljajo -visoko zmogljiv poliuretan kot glavni material. Poliuretan je nekakšen visokomolekularni polimer z dobro elastičnostjo, odpornostjo proti obrabi in kemično stabilnostjo.
Njegova struktura na splošno vključuje polirno plast in nosilno plast. Polirna plast je v neposrednem stiku s poliranim materialom in mora imeti primerno trdoto, hrapavost in poroznost, da doseže učinkovit polirni učinek; hrbtna plast ima predvsem vlogo podpore in pritrditve polirne plasti, hkrati pa pomaga pri prenosu polirnega pritiska in ohranjanju splošne stabilnosti polirne blazinice.
Značilnosti delovanja poliuretanskih polirnih blazinic
Visoka elastičnost: lahko se bolje prilega površini poliranega predmeta in celo zapletene ukrivljene površine je mogoče enakomerno polirati, kar zmanjša lokalni pritisk, ki je prevelik ali premajhen med postopkom poliranja CMP, s čimer se izboljša kakovost poliranja.
Visoka odpornost proti obrabi: Med dolgotrajnim-postopkom poliranja lahko ohrani svojo lastno obliko in zmogljivost ter je ni enostavno nositi, kar podaljša življenjsko dobo polirne blazinice in zmanjša stroške uporabe.
Visoka ravnost: Zagotovi lahko ravnost polirane površine, kar je bistvenega pomena za obdelavo visoko{0}}natančnih optičnih komponent, polprevodniških čipov itd., in lahko izpolni stroge zahteve za natančnost površine na teh področjih.
Visoka stabilnost: V različnih okoljskih pogojih (kot so spremembe temperature in vlažnosti itd.) lahko poliuretanska polirna blazinica še vedno ohranja stabilnost delovanja in zagotavlja doslednost učinka poliranja.